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双光子三维光刻系统

· 2022-11-22
双光子三维光刻系统
项目所在采购意向: 复旦大学2022年12月政府采购意向
采购单位: 复旦大学
采购项目名称: 双光子三维光刻系统
预算金额: 480.000000万元(人民币)
采购品目:
A032103电子工业专用生产设备
采购需求概况:
三维光刻系统是微纳加工流程化工艺中不可缺少的关键三维结构曝光设备,是微纳米三维结构制备的主要技术,对三维立体结构的制备起着不可替代的作用。三维光刻系统可以满足我校在微纳加工方面较高的技术需求(如大面积的纳米精度、三维立体工艺等),并使微纳加工工艺达到较完备的水平。三维光刻系统可以满足我校500nm以下的精密微纳米光电器件、光子晶体、人工超材料、新量子材料与器件等的加工和制备,还有助于微光学、微流通道、材料科学等领域的前沿课题研究。
预计采购时间: 2022-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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